型 號：ZEISS Crossbeam 540
產 地：德國
性能指標：電子束分辨率0.9nm@15kV, 1.8nm@1kV；離子切割精度3.5nm，束流1pA~100nA；探測器：BSE(2個)、SE(2個)、X射線能譜、EBS
主要功能（用途）：納米精度、微米視域的三維成像（形貌、密度），微、納米精度的二維成像（形貌、密度），微米精度的二維、三維元素分析。
聯系人：孫朗秋
聯系電話：010-89739103
測試項目 |
校內價格 |
對外價格 |
SEM手動圖像采集 |
800元/小時 |
1150元/小時 |
SEM自動拼圖 |
800元/小時 |
1150元/小時 |
FIB-SEM三維成像 |
1600元/小時 |
2300元/小時 |
EDS能譜分析 |
18元/點 |
25元/點 |
EDS元素面分布 |
40元/面 |
60元/面 |
